Suomen Akatemia
Rahoituspäätös
 
Nimi Laukkanen, Pekka
Organisaatio TY
Tutkimusaihe Puolijohdekiteiden hapettuminen ja sen vaikutukset
Päätös 296469
Päätöspvm 10.06.2016
Rahoituskausi 01.09.2016 - 31.08.2020
Rahoitus (€) 374 515
WebFOCUS Report
Hankkeen julkinen kuvaus
Tutkimme ja kehitämme puolijohdekiteiden hapettumisprosessia ja hapettuneiden pintakerroksien ominaisuuksia, jotka vaikuttavat monen jokapäiväisessä käytössä olevan laitteen energiatehokkuuteen ja elinikään. Esim. transistorissa ja ledissä on hapettuneita puolijohdekerroksia, jotka sisältävät kidevirheitä ja ovat siksi laitteiden heikoimpia osia. Suuri ongelma on ollut puolijohdepintojen hallitsematon hapettuminen. Tällöin muodostuu epämääräinen, amorfinen oksidikalvo, jonka ominaisuuksia on vaikea tutkia ja kehittää. Tutkimusryhmämme on tehnyt löydön: kiteiset hapettuneet puolijohdekalvot, joka avaa uusia mahdollisuuksia. Tutkimus sijoittuu pintatieteen ja puolijohdeteknologian rajapintaan. Projektin päätavoitteet ovat (i) ymmärtää paremmin puolijohteiden hapettumisprosessit ja muodostuneiden oksidikalvojen ominaisuudet atomitasolla sekä (ii) löytää menetelmät hapettuneiden puolijohdekalvojen ominaisuuksien hallittuun muokkaukseen siten, että kalvojen kidevirhetiheydet pienenevät.